氬氣真空等離子清洗機的原理，等離子處理為什麽...

氬氣是一種工業上麵常（cháng）用的氣體，不僅（jǐn）用於清洗，也用於電焊或者金屬切割，在等離子清洗中主要被應用於基材表麵（miàn）的物理（lǐ）清洗及表（biǎo）麵粗化，最大的（de）特點就是在表麵清洗中不（bú）會造成精密電子器件的表麵氧化。正因如此，氬等離子清洗機在半導體、微電子、晶圓製（zhì）造等行業被廣泛應用。

氬氣在真空等離子清（qīng）洗機中被（bèi）電離所（suǒ）產生的等離子體（tǐ）呈暗紅色。所以（yǐ）大家平時所見的真空等離子清洗機，機器啟（qǐ）動時，真空腔室裏麵都是顯示的暗紅色，表示真空等離子（zǐ）正在產生反應。

在（zài）相同的放電環境下，氫氣和氮氣（qì）所產生的等離子體顏色都是呈紅色，但氬等離子體的亮度會低於氮氣且高於氫氣（qì），還是比較好區分的。

在晶（jīng）圓、玻璃等產品表麵顆（kē）粒的清除過程中，通常會采（cǎi）用等離子體對材料表麵的顆粒進行轟擊，加以實現對顆粒的分散和鬆動（dòng）處理，然後再進行離（lí）心清洗等處理工藝，會有著顯著的效果。在半導體封裝應用（yòng）中尤為突（tū）出，在經過打線工藝後為防止導線氧化，需采用氬等離子體或氬氫等離子對產品表麵進行等離子清洗，實現更好的產品處（chù）理效果。

等離（lí）子清洗機的表（biǎo）麵粗化處理也稱為表（biǎo）麵刻蝕（shí）處理，其主要目的是提升材料的表麵粗糙度，進而增強（qiáng）材料的粘接、印刷和焊接等性能。其他活性（xìng）氣體經（jīng）處理後也可提升產品表麵張力，但氬離子化產生的顆粒要更重（chóng），在電場的作用下氬離子的動能（néng）較高於其他活性氣體，所以其粗化效果更號。氬氣在無機（jī）物表麵粗化的過程中應用最為廣泛，如玻（bō）璃基材的表麵處理（lǐ）、金屬基材的表麵（miàn）處理等。

大氣壓等離子有三種效果模式可選。一是選用 氬（yà）氣/氧氣 組合，主要麵向非金屬材料（liào）並且要求較高的處理效果時采（cǎi）用。 二是選用 氬氣/氮（dàn）氣 組合，主要麵向（xiàng）待處理產品有不能被處理的金屬區域，因氧氣的強氧化作用，替換為此（cǐ）方案中的氮氣後，該（gāi）問（wèn）題可以加以控製。三是隻采用氬氣的（de）情況，隻采用氬氣也可以（yǐ）實現表麵改性，但是效果相（xiàng）對較低。此種情況（kuàng）較特殊，是少數工業客戶需要有限度的同時均（jun1）勻的表麵改性時采用的方案。

大氣壓式等離子，也是低溫等離子，不會對材料表麵造（zào）成損傷。無電弧，無需真空腔體，也無需有害氣體吸出係統，長時間使用並不會對操作人員造成身體損害。

等離子應用在清洗機行（háng）業，主要分為兩大類，一類是常壓的，或者做大氣等離子清洗機，就（jiù）是在平時正常環境下麵直接使（shǐ）用的。另外一種是真空等離子清洗機，這個是需要在真空環境下麵使用（yòng）的。常壓（yā）的等離子清洗機，主要（yào）是用來處理一（yī）些平麵立體的物體，比如手機玻璃板，而真空等離（lí）子清洗機則是用來處理一些異形件，或者對處理要（yào）求比較高的物體。比如汽車連接件，這些物體直接用常壓等（děng）離子清洗（xǐ）機，直接噴射處理肯定不到位，這個時候就需要用到真空等離子清洗機

等（děng）離子處理為什麽需要真空（kōng）環境?

在真空環境產生等離子體的原因很多,主要有有兩個（gè）原因:

引入真空室的氣（qì）體在壓力環（huán）境下不會電離,在充入氣體電離產生等離子體之前必（bì）須達到真空環境。另外，真空環境允許（xǔ）7799天天看影视控製真空室中氣體種類，控製真空室中氣體種類對等離（lí）子處（chù）理（lǐ）體過程的可（kě）重複性是（shì）至關重要（yào）的（de）。

要進行等離子處理產品（pǐn）,首先7799天天看影视產生等離子體。首先，單一氣（qì）體或者混合氣體被引入密封的低（dī）壓真空等離子體室（shì）。隨後（hòu）這些（xiē）氣（qì）體被兩個電極板之（zhī）間產生的（de）射（shè）頻(RF) 激活，這些氣體中被激活的離子加（jiā）速，開始震動。這種振動“用力擦洗”需要清洗材料表麵的汙染物。

在處理過程中,等離子體中被激活（huó）的分子和原子會發出紫外光，從而產生等（děng）離（lí）子體輝光。溫度控製係統常用於控製（zhì）刻蝕速率。60 - 9d攝氏度溫度之間刻（kè）蝕，是室溫刻（kè）蝕速度（dù）的四倍。對（duì）溫度敏感的部件或組件,等離子體蝕刻（kè）溫度可以控製在15攝氏度。7799天天看影视所有的溫度控製係（xì）統已經預編程（chéng）並集成到等離子體係統的軟件中間。設置保存每個等（děng）離子處理的程序能輕鬆複製處理過程。