在線式（shì）真空等離（lí）子清（qīng）洗機基本參數:
| 型號 | 在線式真空等離子清洗機 |
| 處理時間 | 2-3分鍾/循環 |
| 輸入電壓 | 220V±10%（AC）50-60HZ |
| 輸出功率 | 2 * 1KW |
| 輸（shū）出電壓 | 8000-12000AC |
| 工作環境溫度 | -10℃-30℃ |
| 工作環境濕度 | 20%-90% |
| 工作頻率 | 40KHz |
| 產能 | 兩層（céng）托盤，尺寸定製 |
| 抽真空時間 | ＜40s |
| 真空度 | 5-100pa(可調) |
| 傳送裝置 | 三段式軌道，上下兩層中轉（可根據需求定製） |
| 真空泵組 | 油泵/幹泵+羅茨（cí）增壓泵 |
| 可（kě）增（zēng）變冷水機組 | 可（kě）選配 |
| 自主研發控製（zhì）軟件（jiàn） | 生產信息統計，MES係統對接、工（gōng）藝參數調（diào）節等功能 |
| 工藝氣體 | 5路工作氣體（tǐ）可選（xuǎn）：Ar2/N2/H2/CF4/O2 |
| 氣（qì）源 | CDA 0.5MPa- 0.6MPa，氣壓報警裝（zhuāng）置 |
| 腔體溫度 | ＜30℃ |
| 有效處理寬幅 | 200mm-2000mm（可定製） |
| 等離子發生器頻率 | 40KHz/13.56MHz/2.45GHz（選配） |
| 傳動電機 | 86伺服馬（mǎ）達 |
| 噴頭運行方式（shì） | 往（wǎng）複（fù）式（shì） |
| 噴槍火焰長度 | 10mm-30mm |
| 輸入氣壓報警 | 菜單+聲光報警 |
| 射頻電源（yuán） | 13.56MHz |
| 溫度檢測裝置 | 設備加裝（zhuāng）有溫度掃（sǎo）描儀，能實時監測到 |
在線式真空等（děng）離子清洗機產品特點：
在線式真空等離子清洗機可以實現溫度、真（zhēn）空值、反應氣體實時檢測；
整機采用PLC微電腦控製係統，無縫對接MES係（xì）統；
適合各種形狀產品，通用性高（gāo）；
合理的等離子反應空間，使處理（lǐ）更均勻；
良好的安全性，多（duō）功能安全保護；可根據客戶需（xū）求定製。
自動進出料，可對接原有生（shēng）產線，實現自動化在線生產；
在（zài）線式（shì）真空等離子清洗機（jī）機器介紹:
反應倉
為了滿足快速高效的工（gōng）業（yè）生產,並基於對產品的需求,將等離子反應倉設計為小型長方體,反應倉體內部尺寸,一方麵減少了抽真空和（hé）壓力平衡的時間（jiān）,提高了效率另一方麵減少了氣（qì）體的消耗,節約了成本。此外,在倉體側麵開有一可視透明小窗口,可以通（tōng）過此處檢查氣體放電的情（qíng）況。
射頻等離子產生（shēng）係統
射頻等離子產生係統包括射頻電源和射頻匹配網絡,射（shè）頻電源是等離（lí）子體放電的關鍵設備,等離子（zǐ）體反應器是利（lì）用其提供的能量,生成電子、離子等活性粒子,即等離子體。在電源的（de）參數選擇方麵,工作頻率為（wéi）,射頻輸出（chū）功率為一的可調區間,主係統電源電壓為士,外接線路工頻為一,采用三相四線接（jiē）法（fǎ）
真空係統（tǒng）
低壓等離子放電相對（duì）於常壓等離子放電,放電（diàn）更穩定,粒子的自由（yóu）程更長,等離子的活性更強,溫度更低,對高精密儀器的清洗傷害更小,放電開始前需對反應倉體進行抽真（zhēn）空,使用真空泵對倉體進行抽真空,極限真空度小於或等於,真空泵（bèng）在（zài）清洗物體放入後啟動,並在清洗過（guò）程中（zhōng）一直（zhí）運行（háng）,保證倉體內壓力穩定在一個範圍（wéi）內。
上、下料傳動係統
上下料（liào）係（xì）統主要由機械手、傳送帶、升降機和滑動導軌組成,在上下料係統中料盒可在豎直方向和水平方向移動。豎（shù）直方向（xiàng）移動由升降伺服電（diàn）機帶動升降平台實現,升降平台與料盒一起做豎（shù）直（zhí）運動。水平方向移動（dòng）由水平（píng）伺服電（diàn）機帶（dài）動料盒安裝板實現（xiàn）,機械手傳送機構完成物料的傳送。
