氬（yà）氣真空等離子清洗機的原理，等離子（zǐ）處理為什（shí）麽（me）...

氬氣是一種工業上麵常用的氣體，不僅用於清（qīng）洗，也用於電焊或者金屬切割，在等離子清洗中主要被應用於基材表麵的物理清洗及（jí）表麵粗化（huà），最大的特點就是在表麵清洗中不會造成精密電子器件的表麵氧化。正因如此，氬等（děng）離子清洗機在半導體、微電子、晶圓製造等行業（yè）被廣（guǎng）泛應用。

氬氣在真空等離子清洗（xǐ）機中被電離所產生的等離子體呈暗紅色。所以大家平時所見的真（zhēn）空等離子清洗機，機器啟動時，真空腔室裏麵都是顯（xiǎn）示的暗紅色，表示真空等離子正在產生反應（yīng）。

在相同的放電環境下，氫氣和氮氣所產生的等離子體顏色都是呈紅色，但氬等離子體的亮度會低於氮氣且高於氫氣，還是比較好區分的。

在晶（jīng）圓、玻璃等產品表麵顆粒的清除過程中（zhōng），通常會采用等離（lí）子體對材料表（biǎo）麵的顆粒進（jìn）行轟擊，加以實現對顆粒的分（fèn）散和鬆動處理，然後再進行離心清洗等處理工藝（yì），會有著顯著的效果。在（zài）半導體封裝應用中尤為突出，在經過打線工藝（yì）後為（wéi）防止導（dǎo）線氧化，需采用氬等離子體或氬氫等離子對產品表麵進行等離子（zǐ）清洗（xǐ），實現更好的產品處理效果。

等離子清洗機的表麵粗化（huà）處理也稱為表麵刻蝕（shí）處理，其主要目的是提升材（cái）料的表麵粗糙度，進而增強（qiáng）材料的粘接、印刷和焊接等性能。其他活性（xìng）氣體經處理後也可提升產品（pǐn）表麵張力，但氬離子化產生的顆粒要更重，在電場的作（zuò）用（yòng）下氬離子的動能較高於其（qí）他活性氣（qì）體，所以其粗化效果更號。氬氣在無（wú）機物表麵粗化的過程中應用最為廣泛，如玻璃基材的表麵處理、金屬基材（cái）的表麵處理等。

大氣壓等離子有三種（zhǒng）效果模式可選。一是選用 氬氣/氧氣 組合，主要麵向非金屬材料並且要求較高的處理效果時采用。 二是選用 氬氣（qì）/氮（dàn）氣（qì） 組合（hé），主要麵向待處理產品有不能被（bèi）處理的（de）金屬區域，因氧氣的強氧化（huà）作用，替換為此方案中的氮氣後，該問（wèn）題可以加以控製。三是隻采用氬氣的情況，隻采用氬氣也可以實現表麵改性，但是效果相對較低。此種情況較特殊，是（shì）少數工業客戶需要有限度的同時均勻的表麵改（gǎi）性時采（cǎi）用的方案。

大氣壓（yā）式等（děng）離（lí）子（zǐ），也是低溫等離子，不（bú）會對（duì）材料表麵造成損傷。無電弧，無需真空腔體，也無（wú）需有害氣體（tǐ）吸出係統，長時間使用並不會對操作人員造成身體損（sǔn）害。

等離子應用在清洗機行業，主要分（fèn）為兩（liǎng）大類，一類是常壓（yā）的，或者做大氣等（děng）離子清洗機，就是在平（píng）時（shí）正常環（huán）境（jìng）下麵直接使用的。另外一（yī）種是真空等離子清洗機，這個是需要在真空（kōng）環境下麵使用的。常壓的等離子（zǐ）清洗機，主要是用來處理一些平麵立體的物體，比如手機（jī）玻璃板，而真空等離子清洗機則是用來處理一些異形件，或者對（duì）處理要求比較高的物體。比如汽車連接件，這些物體直接用常壓（yā）等離子（zǐ）清洗機，直接噴射處理肯定不到位，這（zhè）個時候就需要用（yòng）到真空等離子清（qīng）洗機

等離子處（chù）理為什麽需要真空環境?

在真（zhēn）空環境產生等離子體的原因很多,主要有有兩（liǎng）個原因:

引入真空室的氣體在壓力環境下不會電離,在充入（rù）氣體電（diàn）離產生（shēng）等離子體之前必須達到真空環（huán）境。另外，真空環（huán）境允許7799天天看影视控（kòng）製真空室中氣體種類，控製真空室中氣體種類對等離子處理體過程的可重複性是至關重要（yào）的。

要進（jìn）行等離子（zǐ）處理產品（pǐn）,首先7799天天看影视（men）產生等離子體。首先，單一氣體或者混合氣體（tǐ）被引入密封的低壓真空（kōng）等離子體室。隨後這些氣體被兩個電極板之間產生的射頻(RF) 激活，這些（xiē）氣體中（zhōng）被激（jī）活（huó）的離子加速，開始震動。這種振動（dòng）“用力擦洗”需（xū）要清洗材料表麵的（de）汙染物。

在處理過程中,等離子（zǐ）體中被激活的分子和原子會發出紫（zǐ）外光，從而產生等離子（zǐ）體輝光。溫度控製係統常用於控製刻蝕速率。60 - 9d攝氏（shì）度溫（wēn）度之間刻蝕，是室（shì）溫刻蝕速度的四倍。對溫度敏感的部件或組件,等離子（zǐ）體蝕刻溫度可（kě）以控（kòng）製（zhì）在15攝氏度。7799天天看影视（men）所有的溫度（dù）控製係統已經預編程並集（jí）成（chéng）到等離子體係統的軟件（jiàn）中間。設（shè）置保存每（měi）個等離子處理的程序能輕鬆複製處理過（guò）程。