產品參數：
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TS-SY05 |
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控（kòng）製係統 |
PLC+觸（chù）摸屏 |
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供（gòng）電電源 |
AC220V（±10V） |
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工作電（diàn）流 |
整機工作（zuò）電流不大於 1.2A（不含（hán）真空泵電流） |
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電源功率 |
200W（60%-100%連續可調） |
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頻率偏（piān）移量 |
小於 0.2KHz |
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氣體流量計 |
0-500ml/min(2路氣體可調) |
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氣體流量控（kòng）製 |
精密針（zhēn）閥式浮子流量計（jì）（2路） |
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過程控製 |
自動與手動方式（shì） |
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清（qīng）洗時間 |
1-9999s 可調 |
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真空度 |
＜80Pa |
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內腔尺寸（圓形） |
φ160（直徑）*210（深度）mm |
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腔（qiāng）體材質 |
石英玻（bō）璃 |
TS-SY05產品（pǐn）特（tè）點：
內置兩（liǎng）路氣路，氣體流量（liàng）可調，無需再搭（dā）配氣體混（hún）合儀專利軟件、觸摸（mō）屏控製，操（cāo）作簡（jiǎn）易，智能化設（shè）計，避免誤操（cāo）作實（shí）時（shí）觀察腔體壓力變化情況， 電流、電壓實（shí）時監測（cè），確保儀器穩定安全運行石英材（cái）質真空腔體不與等離（lí）子體產生反（fǎn）應，不會汙染樣品（pǐn）配備的真空泵噪音和油氣汙染小，真空度高全程幹燥（zào）的處理方式，不消耗水資源、無需添加化學藥（yào）劑、不產（chǎn）生汙染（rǎn）
常見應用（yòng）：：
石墨（mò）烯粉末（mò）清（qīng）洗（xǐ）、改性，去除粉末雜質和油質，增加石墨烯表麵親水基團（-OH）提高親水性金屬工件油汙（wū）等離子清洗，不損傷（shāng）樣品，去除（chú）表麵油汙PDMS等離子活化改性，提升親水性和鍵合力ITO導電玻璃親水性處理並提高其（qí）功函數矽片親水性處理（lǐ），改性、活化表麵
