產品參數：
| 型號 |
TS-PL10MA |
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真空腔規格 |
材質316不鏽鋼 |
| 腔體（tǐ）尺寸 |
L200mm*W270mm*H200mm |
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電極 |
平板氣浴電極 材質6061-T6鋁合金 |
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功率電極 |
1 |
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接地電極 |
1 |
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電極（jí）尺寸 |
180mm *230mm（最大可處理（lǐ）產品尺寸（cùn）規格） |
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頻率 |
13.56MHz |
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功率 |
0-300W連續可調，精度1W,可在設備運行中隨時（shí）調整參數（shù） |
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氣體控製 |
精密針閥（fá）式浮子流量計（jì）， 0-1000ml |
| 氣體通道（dào） | 2路（可增加） |
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真空度測量儀器 |
2色顯示式（shì）高精度數（shù）字式壓力開（kāi）關（SMC） |
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控製方式 |
4.3寸工業控製觸摸屏，全手動控製和全自動（dòng）控（kòng）製兩種控製方式 |
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控製軟件功能 |
界麵顯示實（shí）時工作（zuò）狀態 |
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電極板配（pèi）置 |
配備3個卡槽位（接地電極），極板間距離可調整，可按需求調整極板位置 |
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設備規格尺寸 |
長500mm 寬550mm 高800mm |
產品特點：
Ø 卓越的密封性腔體:采用進（jìn）口316不（bú）鏽鋼腔體，軍工級的高真空度真空腔體設計（jì）及製造工藝。
Ø 高密度等離子電源技（jì）術：采用進口等離子電源電路技術，確保出眾的清洗效果。
Ø 獨有放電技術：特殊處理的放（fàng）電裝置，確保（bǎo）形成穩定均勻的等離子體。
Ø 高精度氣體流量監測係統：兩種工藝氣體配置(氬氣、氧氣等非腐蝕性氣體），雙路氣流控製，比例可調，采用（yòng）MFC質（zhì）量流量計、氣體管路及（jí）閥件。
Ø 優質產（chǎn）品部件：產（chǎn）品部件采用國內外頂尖優質品牌，確保設備性（xìng）能優越。
Ø 數字計時（shí）單元：1-9999s選擇範圍時間顯示，處（chù）理過程結束後自動終止。
Ø 適用形狀複雜樣品：清洗各（gè）種複雜形狀的產品，包括內孔內壁，全方位均勻（yún）清洗。
Ø 處理全程無汙染 ：等（děng）離子清洗機本身是（shì）很環保（bǎo）的設備，無產生（shēng）任何汙染，處理過程也無（wú）產生任何汙染。
