產品參數:
型號 |
TS-PL05 |
控製係統 |
PLC+觸摸屏 |
供電電源(yuán) |
AC220V(±10V) |
工作電流 |
整機工作電流不大於 1.2A(不含真空泵電(diàn)流) |
電源功率 |
0-300W(連續可調) |
頻率偏移量 |
小於 0.2KH |
氣體流量(liàng)計 |
60-600ml/min(兩(liǎng)路氣體可調) |
電源頻率 |
40KHZ |
過程控製 |
自動與手動方式 |
清洗時(shí)間 |
1-9999 秒鍾可調 |
真空度(dù) |
30pa-80Pa |
真(zhēn)空泵 |
抽氣速率(lǜ):2L/S(油霧過濾) |
內腔尺寸(mm) |
直徑(jìng)150*280mm,不(bú)鏽鋼 316 |
外形尺寸(mm) |
600mm ×600mm ×500mm(長(zhǎng)×寬×高) |
TS-PL05產品特點:
密封性卓越的真空腔(qiāng)體設(shè)計,軍工級的高真空度真空腔(qiāng)體設計(jì)及製(zhì)造工(gōng)藝,並配置進口技術真(zhēn)空泵運行。
兩種工藝氣體配置(zhì)(氬氣、氧氣),可選擇多種反應氣體,雙路氣流控(kòng)製,比例可(kě)調,采用高精度浮子流量(liàng)計、美國世維洛(luò)克氣體管路(lù)及閥件。
0~99.9小時選擇(zé)範圍時間顯示,處理過程(chéng)結束後自動終止。
觸摸屏操作(zuò),方(fāng)便快(kuài)捷,可選擇手動或自動操(cāo)作模式。
采用氣體作為清(qīng)洗介質,成(chéng)本低,幹式清洗更加環保。
工藝說(shuō)明:
工藝氣體
一般在等離子清洗中,可把活化氣體分為兩 類,一(yī)類為惰性氣體的等離子體(Ar2、N2 等); 另一類為反應(yīng)性氣體的等離子體(如O2、H2等)。以氬等離子為例,在一(yī)個物理過程 中,在氬等離子中產生的離子會(huì)以足夠的能(néng)量(liàng)輻 射表麵,去掉表麵汙物。帶正電的氬等離子將被 吸引到在真(zhēn)空艙體的負極板。由於高能等離子撞 擊,撞(zhuàng)擊(jī)力足以去除表麵上的任何(hé)汙垢,隨後汙 垢(gòu)通過真空泵以氣體形(xíng)式排出。
功率(lǜ)
通過提高等離子處理的功率,可增加等離子體的密(mì)度和能量,從而加快等離子處理的速度。 等離子體密度是單位體積內所包含的等離子體的數量。等(děng)離子體能量定(dìng)義了等(děng)離子(zǐ)體進行表麵物 理轟擊的能力。
時間
工藝時(shí)間的長短與功率、氣體流量和氣(qì)體類型(xíng)相關。以在PGBA基板上提高引(yǐn)線的鍵合能力(lì)為例,一個短時間的等離子處(chù)理,引線的鍵合強度相(xiàng)對於未處理(lǐ)前隻提高了2%;但是將處理時間(jiān)增加1/3,引線的鍵合強度將比未處理前提高20%。這裏應該指出的是,過長的工藝(yì)時(shí)間並不總是可(kě)以提高材料的表麵活性。從提高生產效率這方麵出發,還應盡量減少工藝時間(jiān),這(zhè)在大批量生產中尤為重要(yào)。
實際上,在整個等離(lí)子處理過(guò)程中,影響處理效果的要素還包(bāo)括(kuò)過程溫度、氣體分配、真空度、電極設置、靜電保護等。