IC製造過程中去除光（guāng）刻膠

光刻膠的去除在IC製造工藝流程中占（zhàn）非常重（chóng）要的地位（wèi），其成本（běn）約占IC製造工（gōng）藝的20-30%，光刻膠去膠效果（guǒ）太弱...