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等離子清洗機
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影響等離子清洗機清洗效率的工藝參數

等離子清洗機主要是通過氣體放(fàng)電產生等(děng)離子體,其中包含電子、離子、自(zì)由(yóu)基以及紫外線等(děng)高能量物質,具有活化材料表麵的作用。例如,電(diàn)子質量小、移動速度快,可以先一步到達材料表麵(miàn)並(bìng)使其帶有負電荷,同時對材料表麵產生撞擊作用(yòng),可促使表麵吸附的氣體分子解(jiě)吸或分解,也有利於引發化學反應;材料表麵帶有負電荷時,帶(dài)正電荷的離子會加速向其衝擊,所產生的濺射作用會將表麵附著的(de)顆粒性物質除去;等離子體中自由基的存在對清洗作用具有非(fēi)常重要的意義,由於自由基易與物體表麵發生化學連鎖反應,產生新的自由基或(huò)進一步(bù)分解,最後可能會(huì)分解成揮發性的(de)小分子;而紫外線具有很強的光能(néng)和穿透能力,可透過材料表麵深達數(shù)微米而產生作(zuò)用,使表麵附著物質的分子鍵斷裂分解(jiě)。

在使用等離子清洗(xǐ)機(jī)的(de)過程(chéng)中,影響清洗效率的參數主要有以下幾個方麵:

(1)放電氣壓:對於低壓等離(lí)子體,放(fàng)電氣壓增加,等離子體密度越高,電子溫度隨(suí)之降低。而等離子體的清洗效果取決於其密度和電子溫度兩(liǎng)個方麵,如密度越高清洗速率(lǜ)越快、電子溫度(dù)越高(gāo)清洗效果越好。因此,放電氣壓的選擇對低壓等離子體清洗工藝至關重要。

(2)氣體種類:待處(chù)理物件的基材及其(qí)表麵汙染物具有多樣性,而不同氣體(tǐ)放電所產生的等離子體清洗速度和清洗效果又相差甚遠。因此應該有針對性地選擇等離子體的工作氣體,如可選用氧氣等離子體(tǐ)去(qù)除(chú)物(wù)體表麵的的油脂汙垢,選用(yòng)氫氬混合氣體等離子體去除氧化層。

(3)放電功率:放電(diàn)功率增大,可以增加等離子體的密度和活性粒子能量,因而(ér)提高清洗效果。例(lì)如,氧氣等離子體(tǐ)的密度受放電功(gōng)率的(de)影響較(jiào)大。

(4)暴露時間:待清洗(xǐ)材料在等離(lí)子體中的暴露時(shí)間對其表麵清洗效果及等離子體工(gōng)作效率有很大影響。暴露(lù)時(shí)間越長清(qīng)洗效果(guǒ)相對越好(hǎo),但工作效(xiào)率降低。並且,過長(zhǎng)時間的清洗可能會(huì)對材(cái)料表麵產生(shēng)損傷(shāng)。

(5)傳動速度:對於常壓等離子體清洗工藝,處理大物件時會(huì)涉及連續傳動問題。因此待清洗物件與電極的相對(duì)移動速度越慢,處理效果越好,但速度過慢一方麵影響工作效(xiào)率,另(lìng)一方麵也可能造成處理時間過長產生材料表麵損傷。

(6)其他:等離子體(tǐ)清洗工藝中的氣體分配、氣體流量、電極設置等參數也會影響清洗效果。因此需要根據實(shí)際情(qíng)況和清洗(xǐ)要求設定具體的、適合的工藝參數

等離(lí)子清洗機參數

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