小型石英等離子清洗機安裝與操作說明

小型石英等（děng）離子清洗機設備安裝與操作使用說明如下：

5.1初始安裝時（shí）,遵循下列步驟：

第一步： 連接好等離（lí）子清洗機與真空泵之間的真空管路,緊固好O型卡和鎖緊帽,做到連接處密封且不（bú）漏氣。

第二步： 接通供電電源和真空泵電源,在此之前檢查所有按鈕必須（xū）處於複（fù）位狀態,同時檢查所供電源插座的L、N、E的接線是否與機箱後（hòu）的AC220V輸入插頭相一致，以（yǐ）免發生危險動作。

第三步： 第一次開機,不做其它操作，直接打（dǎ）開機體上（shàng）紅色電源開關、真空泵開關（guān），輕輕推關腔門，然後按綠色啟動鍵抽真空，目的是去潮除濕（shī），同時檢查是否（fǒu）有漏氣部位：聽漏氣聲響；拉動真（zhēn）空倉門是否密封；觀察壓力表到達-100Kpa左右；若無上述狀況即（jí）為正常

第四步： A、打開電源，先在（zài）顯示屏裏設定清洗（xǐ）時間；

B、將托盤承載的（de）產品放入反應室內；

C、輕推反應腔門，按（àn）麵板上綠色啟動（dòng）開關，真（zhēn）空泵開始工作（zuò）。

D、壓（yā）力表真空值-101KPa左右（yòu），看到離子輝光放電現（xiàn）象（xiàng），進入處理狀態；同時可設定功率大小、反應氣體注入量；（反應氣體是根據工藝需求選配，不使用（yòng）時（shí）鎖緊關閉，）

5.3 使用操作步驟

5.3.1 自動狀態下運行處理

（圖5.3.1主機界（jiè）麵）

（圖5.3.2功能畫麵）

（圖5.3.3參數畫麵（miàn））

1. 進（jìn）入“主機界麵”（圖5.3.1主機界麵（miàn）），點擊“下一頁”進入“功能畫（huà）麵（miàn）”（圖5.3.2功能畫麵）選擇（zé）“參數頁（yè）麵”（圖5.3.3參數畫（huà）麵）修改清洗時間或清除清洗數據。

2. 點擊“下一頁（yè）”進入“手動頁麵”將氧氣氬氣閥門設置為打開狀態，返回主機界麵。

3. 調節功率，功率調節範圍80%-100%，根（gēn）據實驗需求進行調節。

4. 將被處理物放置真空腔內，關好腔門，按下啟動按鈕，開始抽真空。

5. 待腔體產生輝光，根據實驗需求，手動調節流量計旋鈕添加輔助性氣體。

6. 到達處理時間後，平衡閥自動複原，3秒左右恢複常壓，無進氣聲響時，腔門自動打開（kāi）。

7. 打開腔門，取出被處理物，一個處理過程結束。

____以上各命令都可在鍵下終止，回到複位狀態（tài）。所有（yǒu）數字量都可（kě）自由調整，確（què）認鍵後（hòu）記憶保存，斷電不丟。

5.4手動狀態下運行處理

（5.4.1手動狀態下操作頁麵）

1. 調節功率，功率調節範圍80%-100%，根據實驗需求進行調節。

2. 將被處理（lǐ）物體放置到倉內，關好倉門，按下啟動鈕，開始抽真空。

3. 真空度達到要求時，按下射頻電源鈕（打開狀態為：黃色燈亮“開”），加入射頻高壓，處理過程（chéng）開始。

4. 待腔體產生輝光，根據實驗需求，打開氧氣氬氣閥門開關（打開狀態為：黃色燈亮（liàng）“開（kāi）”），手動調節流量（liàng）計旋鈕添加輔（fǔ）助性氣體。

5. 到達處理時間後，複原平衡閥鈕，3秒左右恢複常壓，無進氣聲響時，腔門自動打開。

6. 打開腔門，取出被處理物，一個處理過程結束。

在手（shǒu）動狀態下，可設定（dìng）氧氣閥、氬氣閥、真空泵、射頻電源、平衡閥的開關選擇，進行數（shù）據工作。

5.5氣體使用（yòng）注意事項：

①在觸摸屏的手動畫麵打（dǎ）開氣（qì）閥；

②腔內激發輝光後，再扭開流量計注入；

③兩（liǎng）路（lù）氣體，機體前麵板上的流量計與機體背麵的（de）氣孔口為對應一致接入工作（zuò）；