等離子表麵處（chù）理工藝介紹

隨著高科技產業的快速發展，各種工（gōng）藝對使（shǐ）用產（chǎn）品的技（jì）術要求越來越高，等離（lí）子表麵（miàn）處理工藝的出現，不僅（jǐn）改進了產品性能、提高了生產效率，更實現了安全環保效應。等離子表麵處理工（gōng）藝能夠在（zài）材料科學、高分子科學、生物醫藥材料學、微流體研究、微電子機械係統研究、光（guāng）學（xué）、顯微術和牙科醫療等領域得到應用。

（一） 等離子表麵處（chù）理工藝原理及應用

等離子體與物體表麵的（de）作用（yòng）

在等離子體中（zhōng）除了氣體分子，離子和電子外，還存在受到能量激勵的處於激（jī）發狀態（tài）的電中性的原子或原子團（又稱自由基），以及等離（lí）子體發射（shè）出的光線。其中的波長短，能量搞得紫外光在等離子體與物質表麵相互作用有著重要的作用。下麵對它們的作用（yòng）分別進行介紹。

A、原子團等自由基與物體表（biǎo）麵（miàn）的反應

B、由於這些自由基呈電中性，存在壽命較長，而且在等離子體中的數量多於離子，因此自由基在等離子體中發揮著重（chóng）要的作用。自由基的作用主要表現在化學反應過程中的能量傳遞的“活化”作用，處於激發狀態的自由基具有較高（gāo）的能量，因（yīn）此易於與（yǔ）物體表麵（miàn）分子結合時會形成新的自（zì）由基，新（xīn）形成的自由基同樣處於不穩定的高（gāo）能量狀態，很可能（néng）發（fā）生分解反應，在變成較小分子的同時（shí）生成新的自由基，這種反應過程（chéng）還可能繼（jì）續進行下去，最後分解成水，二氧化碳之類的簡單分（fèn）子，在另（lìng）一（yī）些（xiē）情況下，自由基與物體表麵分子結合的同時，回釋放出大量的結合能，這種能量又成為引發新的表麵反應（yīng）的推動力，從而引發物體表麵上的物質發生化學反應而被去除。

C、電子與物體表麵的作用

一方麵對物體表麵的撞擊作用，可促使吸附在物體表麵的氣體分子發生分解或吸附，另一方麵大量（liàng）的電子撞擊有利（lì）引（yǐn）發化學反應（yīng）。由於（yú）電子質量極小，因此比離子的移動速度要快得多。當進行（háng）等離子體處理時，電子要比離（lí）子更早到達物體表麵，並（bìng）使表麵帶有負電荷，這有利於引發進一步反應。

離子與物體表麵的作用

通常指的是帶正電荷的陽離子（zǐ）的作用（yòng），陽離子有加速衝向帶負電（diàn）荷的表麵的傾向，此時物體表麵獲得相當大的動能，足以撞擊去除（chú）掉表麵上附著的顆粒性物質，我（wǒ）們（men）把（bǎ）這種現象稱為濺射現象。而通過離子的衝擊作用可以（yǐ）極大促進物體表麵化學反應發生（shēng）的幾（jǐ）率。

（二） 等離子表麵處理工藝的（de）優勢

等離子表（biǎo）麵處理（lǐ）工藝是幹式處理法，替代了傳統的濕法（fǎ）處（chù）理技術具有以下優勢： 1. 環保技術：等離子體作用過程是氣固相幹式反應，不消耗水資源、無須添加化學藥劑 2. 效率高：整個工（gōng）藝能（néng）在較短的時間內完成  3. 成（chéng）本低：裝置簡單，容易操作維修，少量氣體代替了昂貴（guì）的清洗液，同時也無處理廢液成本  4. 處理更精細：能夠深入微細孔眼（yǎn）和凹陷的內部（bù）並完成清洗任務  5. 適用性廣：等離子表麵處（chù）理工藝能夠實現對大多（duō）數固態物質的處理，因此應用的領域非常廣泛

（三） 等離（lí）子表麵處理工藝前景

隨著電子信息產業的發展，特別是（shì）通信產品、電腦及部件、半導體、液晶及光電子產品對超精密（mì）工業（yè）清洗設備和高附加值設備的比例要求逐步增大，等離子表麵處理設備（bèi）已經成為很多電子信息產業（yè）的（de）基礎設備。並且隨著行業技術要求的不斷提高，等離子（zǐ）清洗技術將（jiāng）在國內有更（gèng）加廣闊的發展空間。隨著汽車行業的高速（sù）發（fā）展，國外的（de）很多生產廠家把目標所向中（zhōng）國市場，加（jiā）之（zhī）很（hěn）多零配件的生產廠家也入住中（zhōng）國，這些都對清洗提出了（le）新的技術要求，可以說等離子清洗技術更加適（shì）應了汽車（chē）行業的發（fā）展。  醫療器械使用前的處理工（gōng）藝非常精細，使用氟裏昂清洗（xǐ）不（bú）但浪費資源而且成本也非常的昂貴，而等離子（zǐ）表麵（miàn）處理工藝的使（shǐ）用避免了使用化學物質的弊端，而且也更加適應了現（xiàn）代醫療科（kē）技的技術要求。  光學器件和一些光學產（chǎn）品（pǐn）對清洗的技術要求非常高，等離子表麵處理工藝在此領域可以得到更加（jiā）廣泛（fàn）的運用。等（děng）離子表麵處理工藝能夠應用的行業非（fēi）常廣泛，對（duì）物體的處（chù）理不單（dān）純（chún）的是清洗，同時可以進行刻蝕、和灰化以及表麵活化和（hé）塗鍍。因此就決（jué）定了等離子表（biǎo）麵處理工藝必將有廣泛的發展潛（qián）力。也（yě）會成（chéng）為（wéi）科研院所（suǒ）、醫療機構、生（shēng）產加工企業越來越推崇的處理工藝。