真空等離子清洗機工作流程及等離（lí）子體與（yǔ）材料（liào）表（biǎo）...

真空等（děng）離子清洗機一般有真空室、真空泵、高頻（pín）電源（yuán）、電極、氣體（tǐ）導入係統、工件傳送係統和控製係統等部分組成。

真空等離子清洗機工作流程如下：

1、被清洗的工（gōng）件送入真空室並加以固定，設置工作（zuò）參數，啟動運行裝置，開始抽（chōu）真空，是真空室內的真空程（chéng）度達到10PA左右的標準真空度。

2、向真空室引入等離子清洗用的氣體，並使其壓力保持在100Pa。根據清洗材質的不同，可分貝選用氧氣、氫氣、氬氣、或氮氣等氣體。

3、在真空（kōng）室內的電極和接地裝置之間施加高頻電壓，使氣體被擊穿，並通過輝光放電而發生離子化和產生等離子體。讓（ràng）在真空室產生的等離子體完全籠罩在（zài）被處理工件，開始清洗（xǐ）作（zuò）業。一般清洗處理持續幾十秒到（dào）幾分鍾，看材質和需（xū）求。

4、清洗完（wán）畢後切斷高（gāo）頻電壓，並將氣體及氣化的汙垢通過真空泵抽走排除。

等離（lí）子體和工件表麵具體作用如下：

等離（lí）子體和工件表麵的化學反應和常規（guī）化學反應有很大不同，由於高（gāo）速電子（zǐ）的轟（hōng）擊（jī），很多在常溫下很（hěn）穩定的氣體或蒸汽都可以以等離子體的形式和工件（jiàn）表麵反應，產生許多奇特的、有用的效果（guǒ）；

清洗和刻蝕：例如，在進（jìn）行清洗時，工作氣體往（wǎng）往用氧氣，它被加速（sù）了（le）的電子轟擊成氧離子、自由基後，氧化性極強。工件表麵（miàn）的汙（wū）染物，如油脂、助焊劑、感光膜、脫模劑、衝床油（yóu）等（děng），很快就會被氧化成（chéng）二氧化碳（tàn）和水，而被真空泵抽走（zǒu），從而達到清潔（jié）表麵，改善浸潤性和粘結性的目的。低溫等離子（zǐ）處理（lǐ）僅涉及材料的表麵，不會對材料主體的性質（zhì）產生影響。由於等（děng）離子體清洗（xǐ）是在高真空下進行的，所以等（děng）離子（zǐ）體中的各種活性離子的自由程很長，他們的穿透和（hé）滲透力（lì）很強，可以進行複雜結構的處理，包括（kuò）細管和盲孔。

引入官能基團：高分子（zǐ）材料用N2、NH3、O2、SO2等氣體的等離子體處理，可以改變表麵的化學組成，引入（rù）相應新的官（guān）能基團：-NH2、-OH、-COOH、-SO3H等。這些官能團（tuán）可（kě）使聚乙烯，聚丙烯，聚苯乙烯，聚四氟乙烯等這（zhè）些完全惰（duò）性的基材變成官能團材料，可以提高（gāo）表麵極性，浸（jìn）潤性，可粘結性，反應性，極大地提高了其使用價值（zhí）。與氧等離子體相反，而經含氟氣體的低溫等離子體處理，可在基材表麵引入氟（fú）原子，使基材具有憎水性（xìng）。

聚合：很多乙烯基單體，如，乙烯、苯乙烯、都可以在等離子體條件（jiàn）下，不要其他任何催化劑和引發劑而在工件表麵實現，聚合，甚至甲烷，乙烷，苯這些在常規（guī）聚合條件下不能聚合的物質，都可以在（zài）等（děng）離子體條件下在工件表麵實現交（jiāo）聯聚合。這種聚合層可以（yǐ）達到非常（cháng）致密，並且和（hé）基材結合的非（fēi）常結實。在國外塑料啤酒瓶和汽車油箱就采用等離子體聚合上這樣一層致（zhì）密層，用以防治微量的泄露。高分子（zǐ）的生物醫學材（cái）料表麵也可以通過這種致密層阻止塑料中的（de）增塑劑等有毒物質向人體組織中擴散。