等離子清洗（xǐ）機（jī）九大常見故障分析及其解決辦法（fǎ）

一、等離子清洗機不發光

可能原因：1真空泵是否正常運（yùn）行；2、射頻電源主板燒壞；

處理（lǐ）措施（shī）：1、真空泵是否正（zhèng）常工作，查看真空（kōng）壓力表值是否達到正（zhèng）常壓力（lì）值；如不能達到正常壓強，則代表氣路有漏氣需重新檢查氣路是否固定（dìng）好；2、打開（kāi）設（shè）備右側麵板，檢查射頻電源主板綠色燈在設備正常（cháng）運行下是否亮（liàng），如果不亮，請聯係東信高科售後人員進行（háng）更換。

二、真（zhēn）空泵不工作

可能原因：1、真空（kōng）泵油不足；2、電機燒壞（huài）；3、真空泵磨（mó）損；

處理措施：1、清洗後，添加真空泵油；2、請聯係我公司客服；

三、清洗（xǐ）效果不良

可能原因：1、等離子功率不夠；2、選用不適合的反應氣體；

解決措施：1、調節功（gōng）率旋鈕，提高功率；2、工藝氣體是否匹配合理（lǐ）；3、谘（zī）詢（xún）我公（gōng）司客服；

四、真空（kōng）泵熱過（guò）載保護，請檢查線路和真空泵故障

1、出現此情況請首先觀（guān）察係統參數有無變化，設備突然斷電會引起係統參數歸零，導致設備出現此類報警；

2、如係統參數無變化，請確認熱繼電器（qì）是否自動（dòng）保護，按複（fù）位鍵，然後啟動真空發生係統。如沒有自動保護，請（qǐng）檢查電（diàn）氣線路有無斷路或短路情況；

3、檢查導線是否有斷路或短路情況；

4、如無上述異常，請檢查真空泵（bèng）；

五、放空氣（qì）體壓力過低，請檢（jiǎn）查氣體是（shì）否開啟或氣體是否耗盡

1、如出現（xiàn）此類報（bào）警請檢查腔體（tǐ）底部的破真（zhēn）空所用氣路電磁（cí）閥是否正常（cháng）工作，線（xiàn）路有無（wú）斷路或短路；

六、真空泵倒計（jì）時故障（機械故障），請檢查真空泵抽空能力，故障排除點擊複位鍵

1、所（suǒ）處理產品有嚴重滲氣情況，真空倒計（jì）時時間設備較短，無法在設備時間內抽到背底真空；

2、檢查真空門是否（fǒu）關到位；

3、逐級檢查真（zhēn）空（kōng）係統（tǒng）中（zhōng）各連（lián）接點，看是否有管（guǎn）道連接不良或損壞（huài）；

4、真空泵故障，需檢查保養真空泵；

七、真空計故障報警，真空計故障或損壞，請（qǐng）檢查並更換真空計

1、檢查真空計是否損壞，檢查真空計控製線路是（shì）否有斷路或短（duǎn）路；

八、急停未複位或已按下，請打開急停開關

1、檢查急停（tíng）是否被按下，如沒有（yǒu）此情況，請檢（jiǎn）查急停線路；

九（jiǔ）、 CDA壓力過低報警（破空氣體壓力低）

1、此報警為壓縮空氣氣壓不足夠報警，主要出現於（yú）配有高真空氣動擋板閥（GDQ）的設備，出現此報警時需檢查CDA是否正常（cháng）供氣至設備（bèi）端；

2、確認供氣壓力是否過高或過低，減壓表（biǎo）的（de）報警值是否設定正確；

3、檢查電氣（qì）線路（lù）是否出現斷路或短路；