等離子表麵處理工藝介紹

隨著高科技產業的快速發展，各種工藝對使用產品的技術要求越來越高，等離子表麵處理工藝的出現，不僅改進了產品性能、提（tí）高（gāo）了生產效率，更（gèng）實現了安全環保效應。等離子表麵處理（lǐ）工（gōng）藝能夠在材料科學、高分子科學、生物醫（yī）藥材料學、微流體研究（jiū）、微電子機械係統研究（jiū）、光（guāng）學、顯微（wēi）術和牙科醫療等領域（yù）得到應用。

（一） 等離子表麵處理工藝原理及應用（yòng）

等（děng）離（lí）子體與物體表麵的（de）作用

在等離子體（tǐ）中除了氣體分子，離子和電子外，還存在受到（dào）能量激勵的處於激發（fā）狀態的電中性的原子或（huò）原子（zǐ）團（又稱自由基），以及等離子體發射出的光線（xiàn）。其中的波長短（duǎn），能量（liàng）搞得紫外光在等離（lí）子體（tǐ）與物質表麵相（xiàng）互作（zuò）用有著重要的作用。下麵對（duì）它們的作（zuò）用分別進行介紹。

A、原子團等自由基與物體表麵的反應

B、由於這些自由基呈電（diàn）中性（xìng），存在壽命較長，而且在等離子體中的（de）數量多於離子，因此自（zì）由基在等離子體（tǐ）中發揮著重要的作用。自由基的作用主要（yào）表現在化學反應過（guò）程中的能量傳遞的“活化”作用，處於激發狀態的自由基具有較高的能量，因此易於與物體表麵分子結合時會形（xíng）成新的（de）自由基，新形成的自由基同樣處於（yú）不穩定的高能量狀態，很可能發生分解反應，在變成較小分子（zǐ）的同時生成新的自由基，這種反應（yīng）過程還可能繼續進行下去，最後分解成水，二氧（yǎng）化碳（tàn）之類的簡單分子，在另一些情況下，自由（yóu）基與物體表麵分子結（jié）合的同時，回釋放出大量的結合能，這種能量又成為引發（fā）新的表麵（miàn）反應的推動（dòng）力，從而引發物體（tǐ）表麵上的物質發（fā）生化學反應而被（bèi）去除。

C、電子（zǐ）與物體表麵的作用

一方麵對物體表麵的撞擊作（zuò）用，可促使吸附在物體表麵的氣體分子發生分解或（huò）吸（xī）附，另一方麵大量（liàng）的電子撞擊有（yǒu）利引發化（huà）學（xué）反應。由（yóu）於電子質（zhì）量極小，因此比離（lí）子的移（yí）動（dòng）速度要快得多。當進行等離子體處（chù）理時，電子要比離子更早到達物體表麵（miàn），並使表麵帶有負電荷，這有利於引發進一（yī）步反應。

離（lí）子與物體表麵的作用

通常指的是帶正電（diàn）荷的陽離子的作用，陽離子有加速衝（chōng）向帶負電荷的表麵的傾向，此（cǐ）時物體表麵獲（huò）得相當大的動能，足（zú）以撞（zhuàng）擊去除掉表麵上附著的（de）顆粒性物（wù）質，我（wǒ）們把這種現象稱為濺射現象。而通過離子的衝擊作用可以極大促進物體表麵化學反應（yīng）發生的幾率。

（二） 等離子（zǐ）表麵處理工藝的優勢

等離子表麵處理工藝是幹式處（chù）理法，替代（dài）了傳統的濕法處理技術具有以下優勢： 1. 環保技術：等離子體作用過程是（shì）氣固相幹式反應，不消耗水（shuǐ）資源、無須添加（jiā）化學藥劑 2. 效率高：整個（gè）工藝能（néng）在較短的時間內完（wán）成  3. 成本低：裝置簡單，容易操（cāo）作維修，少量氣體（tǐ）代替了昂（áng）貴的（de）清洗液，同時也無處理廢液成本  4. 處理更精細：能夠（gòu）深入微細（xì）孔眼和（hé）凹（āo）陷的內部並完成清洗任務  5. 適用性廣：等離子表麵處理工藝（yì）能夠實現對大多數固態物質的處（chù）理（lǐ），因此應用的（de）領域非常廣泛

（三） 等離子表麵（miàn）處理工藝前景

隨著電子信息產業的（de）發展，特別是通信產品、電腦及部件、半導體、液晶及光電（diàn）子產品對超精密工業清（qīng）洗設（shè）備（bèi）和高附加值（zhí）設備的比例要求逐步增大（dà），等離子表麵處理設備（bèi）已（yǐ）經成（chéng）為（wéi）很多電子信息產業的（de）基礎（chǔ）設備。並且隨著行業技術要求的不斷提高，等（děng）離子清洗技術將在國內有更加廣闊的發展空（kōng）間。隨著汽車行業的高速發展，國外（wài）的很多生產廠家把目標所向中國市場，加之很多（duō）零配件（jiàn）的生產廠家也入住（zhù）中（zhōng）國，這些都對（duì）清洗提出（chū）了新的技術要求，可以說（shuō）等離子清洗技術更加適應了汽車行業的發展。  醫療器械使用前的處（chù）理工藝非常（cháng）精細，使用氟裏昂清洗不但浪費資（zī）源而且成本也非常的昂貴，而等離子表麵處理工藝的使用避免了使用化學物質的弊端，而且也更加適應了現代醫療（liáo）科技的技術要求。  光學器件和一些光學（xué）產品對清洗的技（jì）術（shù）要求非常高，等離子表（biǎo）麵處理工藝在（zài）此領域可以得到更加廣泛的運用。等（děng）離子表麵處理工（gōng）藝能夠（gòu）應用的行業（yè）非常廣泛，對（duì）物體的處（chù）理不單純的是清洗，同時可以進行刻蝕、和灰化以及表麵活化和塗鍍。因此就（jiù）決定了等離子表麵處理工藝必（bì）將有（yǒu）廣泛的發展潛力。也會成為科研院所、醫（yī）療（liáo）機構、生（shēng）產加工企業越來越推崇的處（chù）理工藝。