在線式等離子清洗機產品介（jiè）紹：
目前, 等離子清洗設備主要有批（pī）量式及在線式兩種。在線（xiàn）式等離子清洗（xǐ）機采用自動的清洗方式, 適用於大規模的生產線, 節省人工, 降低勞動力成本, 大大縮（suō）短了整個工藝流程的時間（jiān）, 使清（qīng）洗效率獲得極大的提高, 優勢（shì）最為明顯。
這些優點主要與在線式等離子清（qīng）洗機的工藝及設備腔體（tǐ）結構有關, 高自動化的在線式等離子清洗屬於非遮擋式清洗（xǐ）, 無人為的二次汙染及靜電損（sǔn）傷, 被清洗工（gōng）件自動放置在腔底的陶瓷懸浮極上, 各（gè）個位置等離子體條件均勻一致, 短（duǎn）短的時間（jiān）內就能夠達到要求的清洗效果。由於清洗時（shí）間短, 腔體（tǐ）內部溫升小, 所以無濺射及過熱損傷,。
在線式等離子清洗機清洗原理：
等離子清洗（xǐ）分為化學（xué）清洗、物（wù）理清洗及物（wù）理化學清洗。針對（duì）不同的清洗對象可選擇O2、H2和Ar等工藝氣體（tǐ）進行（háng）短暫的（de）表麵處理。
1.1 化學反應（yīng）為主的（de）清洗
利用等離子體（tǐ）裏的高活性（xìng）自由基與材料表麵的（de）有機物等做化學反應, 又稱PE。采用氧氣進行清洗, 使非揮發性（xìng）的有機物變成易揮發的形態, 產生二氧化碳、一氧化（huà）碳和水。化學清（qīng）洗的優（yōu）點（diǎn）是清潔速度高、選擇性（xìng）好和對清洗有機汙染物比較有效, 主要缺點是生成的氧化物可能在材料表麵再次（cì）形成。在引線鍵合工藝（yì）中, 氧化物是最不希望有的, 這些缺點可以通過（guò）適當選擇工藝參數進（jìn）行避免。
1.2 物理反應為主的（de）清洗
利用等離子體裏的離子做純物理的撞（zhuàng）擊, 把材（cái）料表（biǎo）麵附著的原子打掉, 也稱為濺射腐蝕 (SPE) 。采用氬氣進行清洗, 氬離子以足（zú）夠的能量轟擊（jī）器件表麵, 撞（zhuàng）擊力足（zú）以去除任（rèn）何汙垢。聚（jù）合物中（zhōng）的大分子化學鍵分離成小分子而汽化, 通過真空泵排出。同時（shí）經過氬等離子清洗後（hòu）, 能夠改變材料表麵的微觀形態（tài）, 使材料在（zài）分子級範圍內變得更加“粗糙（cāo）”, 可大幅改善表麵活性, 提（tí）高（gāo）表麵的粘結性能。氬等離（lí）子的優點（diǎn）是（shì）清理材料表麵不會留下任何氧化物（wù）。缺點是（shì）可能發（fā）生過量腐蝕或汙染物顆粒重新積聚在其他不希望（wàng）的區（qū）域, 但是這些缺點可通（tōng）過細調工藝參數得到控製。
1.3 物理化學反應同時存在的清洗
反應中物理反應與化學反應均起重（chóng）要作（zuò）用的清洗。
如采用Ar和O2的混合氣體進行在線式等離子清洗過程時, 反應速率比單獨使用Ar或O2都要快（kuài）。氬（yà）離子被加速後, 產生的（de）動能又能提高氧離子的反應能力, 因此用物理（lǐ）化學方法可（kě）清除汙染（rǎn）較為嚴重的材料表麵。
隨著微電子封裝（zhuāng）向小型化方向發展, 表麵清洗（xǐ）的要求（qiú）越（yuè）來越高, 在線式等離（lí）子清洗的諸多優點, 將使它成為表麵清洗工藝最好的選擇方案之（zhī）一, 作為最有（yǒu）發展潛（qián）力的清（qīng）洗（xǐ）方式（shì）, 將被應用於越來越多的領域。同時, 在線式等離子清洗機非常有利於環境保護, 清洗（xǐ）後不會產生有害汙染物, 這在全球高度關注環（huán）保意識的情況下越發顯示出（chū）它的重要性。
