等離子（zǐ）清洗機氣體（tǐ）該如何選（xuǎn）擇

等離子清洗機（jī）的機理（lǐ）主（zhǔ）要是活性粒子（zǐ）的物理（lǐ）作用和化（huà）學作用，那麽在清洗不同的材料（liào）時，選擇正確的介質氣（qì）體，可收到事半功（gōng）倍的效果。材料，可以大致分為金屬和非金屬兩種，其中金屬清洗的目的（de）是主要是去除表麵氧化物和有機物，非金屬清洗主要是去（qù）除表麵有機汙染物，根據反應機理，氣體有兩種分類，一種是反應（yīng）性氣體（化學作（zuò）用），主（zhǔ）要是氫（qīng）氣、氧氣、四氟化碳等（děng）；另一類是非反應性氣體（tǐ）（物理作用），主要有氬氣（qì）、氦氣、氮氣。

當所清洗的材料放入反應室內，通過氣體（tǐ）放電產生的等離子體中的活性粒子與材料表（biǎo）麵就會發生反應。

反應性氣體以化學反（fǎn）應為主（zhǔ），電離後（hòu）自由基與表麵汙染物發生化學反應（yīng），生產易揮（huī）發物質被排走，達（dá）到清洗的目的，氫氣主要利用其還（hái）原（yuán）作（zuò）用，與被清洗（xǐ）件表麵汙染物發（fā）生反應，典型的如金屬表麵的氧化物清洗，氫氣作為放電氣體參與反應則發生還原反應，材料表麵的氧化物與放電產生的氫離子反應生成水。而氧氣主要利用（yòng）其氧化作用，典型的如清除零件表麵的有機物等。氧氣作為氣體（tǐ）參與反應發生氧化反應，材料表麵的有機物（wù）被氧氣（qì）電離產生的氧離子（zǐ）氧化生成二氧（yǎng）化碳和水。

非反應性氣體電離後主要靠離（lí）子的物理轟擊作用，去除汙染（rǎn）物，有些氣體在清洗的同時還可以使材料表麵性質發生變化，例如氮氣等離子（zǐ）可以改善金屬材料（liào）的硬度和耐磨性。另兩種常（cháng）用（yòng）的氣體是氬氣和氦氣，具有擊（jī）穿電壓低、等離（lí）子（zǐ）穩定（dìng）等（děng）優點，其中氬原子的（de）電離能ε為15.75eV，氬等離子中含有（yǒu）大量的亞穩態（tài）的原子，是理想的物理反應氣體。

在實際清洗中，單一的利用物理（lǐ）或化學作用效果欠佳，更多是充入混（hún）合氣體，同時利用兩種或以上（shàng）的混合氣體以得到更好的清洗效果。比如氬氣（qì）和氧氣的（de）結合（hé），氬離子采用物理轟擊被清洗表麵汙物，氧氣與表麵汙物發生氧化反應，並且當氬氣和氧氣（qì）分子一經（jīng）碰撞便（biàn）可以使電荷轉換並結合，形成新的活性（xìng）原理，使電離和離子能量得到很大程（chéng）度的（de）降低，同（tóng）時會產生更多的活性粒子，此時，清（qīng）洗（xǐ）效果已（yǐ）經達到1+1>2的效果。

但是在充入多種氣體（tǐ）時，還有更多因素（sù）需（xū）要考慮，比如選取的氫氣純度越高，產生的（de）氫（qīng）離子會越多，相應的清（qīng）洗氧化（huà）物的速度越快，雖然反應效率提高，但是不可忽視氫（qīng）氣作為易燃（rán）易爆氣體，具有很高的危險性，所（suǒ）以當考慮充入混（hún）合氣（qì）體時，通（tōng）常（cháng）會將氫氣與氬氣等其他氣體充入一起（qǐ），要將氫氣的占比處在一個相（xiàng）對（duì）安全的位置，可以達到效率最大化。清洗不同物（wù）質還需要探索更優質的方（fāng）法和工藝，不（bú）斷提高（gāo）清洗的效果。