空氣、氬氣、氮氣、氧氣、氫氣、四氟化碳plasma清洗...

等離子清洗機常（cháng）用的氣體有（yǒu）普通（tōng）的空氣、氬氣、氮氣、氧氣、氫氣（qì）、四氟化碳等等（děng），每種氣體（tǐ）都有自己的特性，這裏我一一給大家做一做講解 

氬氣是一種無色無臭的惰性氣體，通過高壓氣瓶運輸和存（cún）儲，在工（gōng）業中經常應（yīng）用於（yú）金屬（shǔ）的電弧焊接和切割保護。

氬（yà）氣是一種（zhǒng）惰性（xìng）氣體，電離後產生的離子體不會與基（jī）材發生化學反應，在等離子清洗中主（zhǔ）要被應用於基材表麵的物理清洗及表麵（miàn）粗化，最大的特點就是在表麵清洗中不會造成精密電子器件的（de）表麵氧化（huà）。正因如此，氬等離子清洗機在半導體、微電子（zǐ）、晶圓製造等行業被廣泛應（yīng）用。

氬氣、氦氣、氮氣（qì）等都是非反應性氣體（tǐ）。氮等離子體處理可以提高材料的硬度和耐磨性。氬和氦性質穩定，放電電壓低（dī）(氬原子電離（lí）能E為15.57eV)，容易形成亞穩（wěn）態原子。當然（rán）等離（lí）子清洗機一（yī）方麵利用其高能粒子的物理作用清洗容易氧（yǎng）化或還原的物體，Ar+轟擊汙垢形成（chéng）揮發性汙垢，用真空泵抽走，避免了表（biǎo）麵物質的反應；另一方麵，亞穩原子容（róng）易利用氬形成，然後與氧和氫分子碰撞時發生電荷轉換和結合，形成氧氫（qīng）活性（xìng）原子作用於物體表麵

氫氣屬於不穩定氣體，主要（yào）用於還原，清洗掉金屬表麵的氧化物。四氟化碳是一種無色無味的氣體，無毒、不燃，但（dàn）在高濃度時具有麻醉作用，所以在工業（yè）應用時儲存的容器為（wéi）專用（yòng）高壓氣瓶，所使用的減壓閥也為專用減壓閥（fá）。

四氟化碳在被等離子清洗機電離後會產生含氫氟酸（suān）成分的刻蝕性氣相等離子（zǐ）體，能夠（gòu）對各種有機表麵實（shí）現刻蝕及有機物去除，在晶圓製造、線路板（bǎn）製造、太陽能電池板製造等（děng）行業中被廣（guǎng）泛（fàn）應用，在晶圓製造行業中光刻機利用四氟化碳氣體進行矽片的線路刻（kè）蝕，等離子清洗機利用四氟化碳進行氮化矽刻蝕及光刻膠去除。

大氣（qì）壓等離子就是常壓等離子，通常有三種效果模式可選（xuǎn）。一是選用 氬氣/氧氣 組合（hé），主要麵向非金屬（shǔ）材料並且要求較高的表麵親水效果時（shí）采（cǎi）用，比如玻璃，PET 材料等。 二是（shì）選用 氬氣/氮氣 組合，主要麵向各種金屬（shǔ）材料，如（rú）金線、銅線等。因氧氣的氧化作用，替換為此方案中的氮氣後，該問題可以得到有效控（kòng）製。三是隻采用壓縮空氣的情況（kuàng），隻采用壓縮空氣也（yě）可以實現（xiàn）表麵改性，並且也是常見的一種（zhǒng）處理辦法，處理很多材料表（biǎo）麵都是使用壓（yā）縮空氣直接處理。此為特殊情況，是少數工業客戶需要有限而（ér）均勻的表麵（miàn）改性（xìng）時采用（yòng）的方案。

 安（ān）全易用。大氣（qì）壓式等離子，也是低溫等離子，不會對（duì）材料表麵造成損（sǔn）傷，例如對方阻值敏感的材質亦可處理。無電弧，無需真空（kōng）腔體，也無需廢氣排放係統，長時間使用並不會對操（cāo）作人員造成身體損害。

麵積寬大。大氣壓等離子最大可以處理（lǐ）2m寬的材料，可以（yǐ）滿（mǎn）足現有多數工業企業的需求。

成本低（dī）廉。大氣壓等離子設備功耗低，運行成本以氣體為主。

大（dà）氣壓等離子（zǐ）清洗機就是常壓等離（lí）子清洗機，按照噴頭分類，可以（yǐ）分成為旋噴等離子清洗（xǐ）機和直噴等離子清洗機，直噴機（jī）能量高，通常（cháng）用來處理點和線狀區域，旋噴等離子清洗機用來處理的地方比較寬，而且噴頭大小可以定做到 直徑10cm以上（shàng），多個（gè）噴頭同（tóng）時使用可（kě）以處理很寬的區域。從廣義上麵來說，電暈機其實也是等離子清洗機（jī），通常也是用大（dà）氣（qì）處理。 

實際工作過程中，為了保證最好的（de）清洗效果，常常多（duō）種氣體（tǐ）使用，比如先用氫氣還原，然後用氧（yǎng）氣或者混合氣體使用處理，而且會對清洗的時間，通入的氣（qì）體（tǐ）量也會做調（diào）整（zhěng）。當然，如果你有（yǒu）材料處（chù）理，請聯係（xì）7799天天看影视的（de）技術，發材料過來（lái），7799天天看影视來給你做測試，以（yǐ）達到（dào）最佳的清洗效果。