等離（lí）子清洗機常見使用氣體及用途

等離子（zǐ）清洗機常用的處理氣體為：空氣、氧氣、氬氣、氬氫混合氣體、CF₄等 。

在利用等離子清洗機清洗物體前（qián）首先要對清洗的物（wù）體和汙物進行（háng）分析（xī），然後進行氣體的選配。等離（lí）子清洗機中氣體（tǐ）通入一般（bān）來說有兩個（gè）目的，依據等離子的作用原理可（kě）將選配氣體分（fèn）為兩類，一類是氫氣和氧氣等反應性氣體，其中氫氣主要應用（yòng）於清洗金屬表麵（miàn）的（de）氧化物，發生還原反應（yīng）。等離子清洗機通氧氣主要應用於（yú）清洗物體表麵的有機物，發生氧化反應。

另一類是等離子清洗機通氬（yà）氣、氦氣和氮氣等非反應性氣體，氮等離子處理能提高材料的硬度和耐磨性。氬氣和氦（hài）氣性質穩（wěn）定，並且放電電壓低(氬原子的電離能E為（wéi）15.57 eV)易形成亞穩態的原子，一方麵等離子清洗機利用其高能粒子的物理作用清洗易被氧化或還原的物件, Ar+轟擊汙物形成揮發性汙物被真空泵（bèng）抽走，避免了表麵材料發生反應;另一方麵利用氬氣易形成亞穩態的原子，再與氧氣氫氣分子碰撞時發生電荷的（de）轉換和再結合，形成氧氫活（huó）性原子作用（yòng）於物體（tǐ）表（biǎo）麵。

等離子清（qīng）洗機在清洗表麵氧化物時（shí）用純氫雖然效率高，但這裏主要考慮放電的穩定性和安全，在等離子清洗機應（yīng）用時選用（yòng）氬氫混合較為合適，另外（wài）對於材料易氧化或易還原的材料等離子清洗機也可以采用顛（diān）倒氧氣（qì）和氬氫氣體（tǐ）的清洗（xǐ）順序來達到（dào）清洗徹底的目（mù）的。

常見氣體及其作用：

1)氬氣:物理（lǐ）轟擊是氬氣清洗（xǐ）的機理。氬氣是 最有效的物理等離子體清洗氣體,原因（yīn）在於它原子（zǐ）的尺（chǐ）寸大。可以用很大的力量轟擊樣品（pǐn）表麵。正的氬離子將被吸引到負向電極板。撞擊力足（zú）以（yǐ）去除表麵上的任何汙垢。然後這些氣態汙物通過（guò）真空泵排（pái）出。

2)氧氣:化（huà）學工藝中等離子體與樣品表麵上的化合（hé）物反應（yīng）。例如,有機汙染物可以有效地用氧氣等離子去掉,這裏氧氣等離子與汙染物反應,產生二氧化碳、一氧化碳和水。一般地說,化學反應清除有（yǒu）機汙染物效果更好。

3)氫氣:氫氣（qì）可供去除金屬表麵氧（yǎng）化物使用。 它經常與氬氣混合使用（yòng）,以提高去除速度。一（yī）般人（rén）們擔心氫氣的易燃性,氫氣的使用量非常少。人們更大的擔心是氫氣的存儲。7799天天看影视（men）可以采用氫氣發生器從水中產生氫氣。從而去掉（diào）了潛在的危害性（xìng）。

4)CF4/SF6:氟化的氣體在半（bàn）導（dǎo）體工業以及PWB (印製線路板)工業中應用（yòng）非常廣（guǎng）泛。在IC封裝中的應用隻有一種。這些氣體用在PADS工藝中,通過這種處理,氧化（huà）物轉化成氟氧化物,允許無流動焊接。

等離子（zǐ）清洗機（jī）中氣（qì）體應用實例：

清洗和刻蝕：例如，在進行清洗時，工作氣體往往用氧氣，它（tā）被加速了的電子轟（hōng）擊成氧離子、自（zì）由基後，氧化性極強（qiáng）。工件表麵的汙染物，如油脂、助焊劑、感光膜、脫模劑、衝（chōng）床油等，很快就會被氧化成二氧化碳和水，而被真空泵抽走，從而達到清潔表麵，改善浸潤性和粘結性的目的。低溫等離子（zǐ）處理僅涉及材料的表麵，不會對材料主體的性質產生影（yǐng）響。由於等（děng）離子體清洗是（shì）在高真空下（xià）進行的，所（suǒ）以等離子體（tǐ）中的各（gè）種活性離子的自由程很長（zhǎng），他們的穿透和滲透力很強，可以進行複雜結構（gòu）的處理，包（bāo）括細管和盲孔。

引入官能基（jī）團：高分子（zǐ）材料用N2、NH3、O2、SO2等氣體的等離子體處（chù）理，可以改變表麵的化學（xué）組成，引入相應新（xīn）的（de）官能（néng）基團：-NH2、-OH、-COOH、-SO3H等。這些官能團可使聚乙（yǐ）烯，聚丙烯，聚苯乙烯，聚四氟乙烯等這些完全惰性的基（jī）材變成官能團材料，可以（yǐ）提高表麵極性，浸潤性，可粘結性，反應性，極大地提高了其使用價值。與氧等離子體相反，而經含氟氣體的低溫等離子體處理（lǐ），可在基材表麵（miàn）引入氟原子，使基材具有憎水性。

以上就是等離子清洗（xǐ）機常見（jiàn）的使用氣體及其用途。等離子體化學是使物質通過吸（xī）收電能進行的氣相幹式化學反應，具有節（jiē）水省能無公害、有（yǒu）效利用資源、有益環境保（bǎo）護的綠色化學特征。利（lì）用等離子（zǐ）體活性（xìng）物種（電子、離（lí）子（zǐ）、自由基、紫外（wài）線）具有的高活性，可以實現一係列傳統（tǒng）化學和水係（xì）處理法所不能實現的新的反應過程。