等離子體的產（chǎn）生機理及其用（yòng）途

等離子體技術基於一個簡單的物理原理。如果獲得能（néng）量供應，物質的（de）狀態將發生改變：由（yóu）固態變成液態，再由（yóu）液態變成氣（qì）態（tài）。如果再向氣體提供更多能量，氣體將發生電離，並進入高（gāo）能的（de）等離子狀態（tài），這就是物質的第四種狀態。

等離子體的產生機理包括電離反應、帶電粒子（zǐ）的傳輸以及電磁（cí）運動學等理（lǐ）論。等離子體的產（chǎn）生與氣化過程伴隨著電子、粒子和中性粒子的碰撞反應。等離子體中粒子的碰撞會（huì）產生活性組分。因為（wéi）等（děng）離子體處理的（de）目的是改性表麵或在表麵形成一層合（hé）成材料，因此在整個處理過程中，7799天天看影视最關注的是等離子體與材料的相互作用（yòng）以及形（xíng）成最終反應（yīng）產物。

每個等離子體處（chù）理的工藝過程都會局（jú）限在一個多維參數的腔室中，這個腔室（shì）的大小決（jué）定了整個工藝的經濟性、反應質量、反應性（xìng）能及其他參數，這些參數可以使處理過程具有競（jìng）爭性和工業應用價值。腔室的操作受許多約束條件的限製，如處（chù）理過（guò）程受等離子體的種類及反應速率的限製，處理效率受（shòu）電能轉化為等離（lí）子體密度方式的限製，反應產量受處理（lǐ）過程中某種原材料的消耗所製約等。

在等離子體輔助製造工業中。等離子體一般具有下列用途：

（1）等離（lí）子體可以作為熱源。

（2）等離子體可以作為化學催（cuī）化劑

（3）等（děng）離子體可以（yǐ）作為高能離子流和電子流源。

（4） 可以作為濺射粒子源。

在很多工藝中，隨處可見等離子體的這幾種基（jī）本特性，這就逐漸形成了以等離子體為處理手段的基礎製造業（yè）。單獨的某（mǒu）種（zhǒng）處理過程或幾種處理過程綜合作用可賦（fù）予等離子體不同的用途。例如，在等離子體中，利用等（děng）離子體的化學合成作用產生新的化學藥品，或利用粒子的（de）聚合作用（yòng）在表麵沉積形成薄膜等。