等離子清洗機常見（jiàn）使用氣體及用途

等離子清洗機常用的處理氣體為：空（kōng）氣、氧氣、氬氣、氬氫混（hún）合氣體、CF₄等 。

在利用等離子清洗機清洗物體前（qián）首先要對清洗的物體和汙物進（jìn）行分析（xī），然後進行氣體的選配。等離子（zǐ）清洗機中（zhōng）氣體通入一般（bān）來說有兩個目的，依據等（děng）離子的（de）作用原理可將選配氣體分為兩類，一類是氫氣和氧氣等反應性氣體，其中氫氣（qì）主要應用於清洗金（jīn）屬表麵的氧化物（wù），發生還原反應。等離子清洗機通氧氣主（zhǔ）要應用於清洗物體表麵的有機物，發（fā）生氧化反應。

另一類是（shì）等離子清洗機通氬氣、氦氣和氮氣等（děng）非反應性氣體，氮等離子處理能提高材料（liào）的硬度和耐磨（mó）性。氬氣和氦氣性質穩定，並且放電電壓低(氬原子（zǐ）的電離能E為15.57 eV)易形成亞穩態的原子，一方麵等離子清洗機利用其高能（néng）粒子的物理作用清洗易被氧化或還原的物件, Ar+轟擊汙物形成揮發性汙物被真空泵抽走，避免（miǎn）了表（biǎo）麵材料發生反應;另一方麵（miàn）利用氬氣易形成亞穩態的原子（zǐ），再與氧氣氫氣分子碰撞時發生電荷的（de）轉換（huàn）和再結合，形成氧氫活性原子作用於物體表麵。

等離子清洗機在清洗表麵氧化物時用純氫雖然效率高（gāo），但這（zhè）裏主要考（kǎo）慮放（fàng）電的穩定性和安全，在等離子清洗機應用時選（xuǎn）用氬（yà）氫混合較（jiào）為合適，另外對於（yú）材料易氧化或易還原的材料等離子清（qīng）洗機也可以采用顛倒氧氣和氬氫氣體的清洗順序來達（dá）到清洗徹底的目的。

常見氣體及（jí）其作用：

1)氬氣:物理轟擊是氬氣清洗的（de）機理。氬氣是 最有效的物理等離子體清洗氣體,原因在於（yú）它原子的尺寸大。可以用很大的力量轟（hōng）擊樣品表麵。正的氬離子將被吸引到負向電極板。撞擊（jī）力足以（yǐ）去除表麵（miàn）上的任何汙垢。然後這些氣（qì）態汙物通過真空（kōng）泵排出。

2)氧氣:化學工藝中等離子體與樣（yàng）品表麵上的（de）化合物反應。例如,有機汙染物可以有效地用氧氣等離子去掉,這裏氧氣等離子與汙染物反應,產生二氧化碳、一（yī）氧化碳和水。一般地說,化（huà）學反應（yīng）清除有機汙染物（wù）效果更好。

3)氫氣:氫氣可供去除金屬表麵氧化（huà）物使用。 它經常與氬氣混合使用,以提高去除（chú）速度。一般人們擔心氫氣的易燃性,氫氣的使用量非常少。人們更大的（de）擔心是氫氣的存儲。7799天天看影视可（kě）以（yǐ）采用氫氣發生器從水中產生氫（qīng）氣。從而去掉了潛在的危害性。

4)CF4/SF6:氟化（huà）的（de）氣體在半導體工業以（yǐ）及PWB (印製線路板)工業中應用非常廣泛。在IC封裝中的應用隻（zhī）有一種（zhǒng）。這些氣體用在PADS工（gōng）藝中,通過這種處理,氧化物轉化成氟氧（yǎng）化物,允許無流動焊接。

等離子清洗機中氣體應用實例：

清洗和刻蝕：例如，在進行清（qīng）洗時（shí），工作氣體往往用氧（yǎng）氣，它被加速了的電子轟擊成氧離子、自由基後，氧化性極強。工件表麵（miàn）的汙染物，如油脂、助焊（hàn）劑、感光膜、脫模劑、衝床油等，很快就（jiù）會被氧（yǎng）化成二氧化碳和水，而被（bèi）真空泵（bèng）抽走，從而達到清潔表麵，改善浸潤性和粘結性的目的。低溫（wēn）等離子處理僅涉及材料的表麵，不會（huì）對材料主體的性質產生影響。由於等離子體（tǐ）清洗是在（zài）高真空下進行的，所（suǒ）以（yǐ）等離子（zǐ）體（tǐ）中的各種（zhǒng）活性離子的自（zì）由程很長（zhǎng），他們的穿透和滲透力很強，可（kě）以進行複雜結構的處理，包括細管和盲孔。

引入（rù）官能基團：高分子材料用N2、NH3、O2、SO2等氣體的等離子體處理，可以改變表麵的化學組成，引入相應新的（de）官能基團：-NH2、-OH、-COOH、-SO3H等。這些官能團可使聚乙烯，聚丙烯，聚苯乙（yǐ）烯，聚四氟（fú）乙（yǐ）烯等這些完全惰性的基材變成官能團材料，可（kě）以提高表麵極性，浸潤性，可粘結性，反應性，極（jí）大地提高了其使用價值。與氧（yǎng）等離子體相反，而經含（hán）氟氣體的低溫等離子體處理，可（kě）在基材表麵引入氟原子，使基材（cái）具有憎水性。

以上就是等離子清洗（xǐ）機常見（jiàn）的使用氣（qì）體及其用途。等離子體化學是使物質通過（guò）吸收電能進行的氣相幹式化（huà）學反應，具有節水省能無公（gōng）害、有效利用資源、有益環境保護的（de）綠色化學特征。利用等離子體活性物種（電子、離子、自由基、紫（zǐ）外線）具有的高（gāo）活性，可以實現一係列傳（chuán）統化學和水係處理法所不能實現的新的反應過程。