產品（pǐn）參數：
| 型號 |
TS-PL15MA |
| 腔體材質 | 316不鏽鋼 |
| 腔體尺寸 |
L270mm*W280mm*H200mm |
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電極 |
平板氣浴電極，材質（zhì）6061-T6鋁合金 |
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功率電極 |
1 |
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接地電極 |
1 |
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電極尺寸 |
230mm *230mm（最（zuì）大（dà）可處理產品尺寸，可處理8寸晶圓） |
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頻率 |
13.56MHz |
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功率 |
0-300W連續可調（diào），可在（zài）設備（bèi）運行中隨時調整參數。 |
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氣（qì）體控製 |
MFC質量流量（liàng）計， 0-500ml 2路氣體 |
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真空度測量儀器 |
2色顯示式高精度數字式壓力開關（guān）（SMC） |
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控製方式 |
7寸工（gōng）業控製觸摸屏，全手動控（kòng）製和（hé）全自（zì）動控（kòng）製兩（liǎng）種控製方式 |
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控製軟件功能 |
界麵顯（xiǎn）示（shì）實時工作狀態 |
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設備規格尺寸 |
長（zhǎng）600mm 寬600mm 高700mm |
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電極板（bǎn）配置（zhì） |
配備3個卡槽位（接地電極），極板間距離可調整（zhěng），可（kě）按需求調整極板位置 |
隨著技術水（shuǐ）平（píng）的（de）不斷更新迭代，以及各生產廠家對產（chǎn）品潔（jié）淨度要求的不斷提高，清洗工藝逐（zhú）步由濕法向幹法轉變。幹法清洗通過氣體形成的等離子體（tǐ）在工件表麵發（fā）生作用，不需（xū）要經化學試劑浸泡，也不用烘幹，過程更加潔淨安全，清洗過程也方便控製，工作環境及人員安全明顯改善，在成本有效減少的同時，產品成品率（lǜ）及優（yōu）品率也得到很大（dà）提高（gāo），目前已成（chéng）為各半導（dǎo）體產品領域（yù）廣泛應用（yòng）的技（jì）術。
