產品參數:
型號 | 真空等離子清洗機TS-PL100 |
外形尺寸(W×D×H) | 1300×930×1900mm |
反應腔尺寸(W×H×D) | 500×500×450mm |
真空腔體材料 |
進口316不鏽鋼,軍工級密封 |
真空泵 |
二級泵組合 |
角閥 | youch 超高真空60KF |
流量控製器及顯示儀 | sevenstar 0-800ml/min |
射頻電源 | 13.56MHZ |
PLC係統 | 三菱 |
電氣係統 | 施耐德 |
變(biàn)頻器 | 西門子2KW |
觸摸屏 | 台灣威綸(lún) |
陶瓷封裝 | 進口高頻陶瓷 |
處理氣體 | O2、Ar2、N2、CF4 |
電源(yuán) | AC 380V |
真空等離子(zǐ)清洗機使用範圍:
半導體IC行業
蝕刻小孔,精細線路的加工
IC芯片表麵清洗
芯片與封裝基板的粘接,往往是兩種不同(tóng)性質(zhì)的材料,材料(liào)表麵通常呈現為疏水性(xìng)和惰(duò)性特征,其表麵粘接(jiē)性能(néng)較差(chà),粘接過程中界麵容易產生空(kōng)隙,給密封封裝後的芯(xīn)片帶來很大的隱患,對芯片與封裝基板的表麵進行等離子體處理(lǐ)能有(yǒu)效增加其表麵活性,極大的改善粘接環氧樹脂在其表麵的流動性,提高芯片和封裝基板的粘結浸潤性,減少芯片與基板的分層,改善熱傳導(dǎo)能力,提(tí)高IC封(fēng)裝的可靠性、穩定性,增加產品的(de)壽命。
PCB行業
零電勢的處理;
清洗作用(yòng):改善可焊性;
刻蝕作用(yòng):去玷汙、去除電鍍夾膜;
表麵改性:增(zēng)加清水性,增強結合力;
FPC印刷線路板(軟板)其主要(yào)材料是由聚酰亞胺樹(shù)脂(zhī)組成,由於鑽孔時產生的熱量,極易使孔內殘留(liú)大量的樹脂膠渣,造成PTH時孔壁鍍銅層與內層線路連接不良,甚至產生斷裂開路現象,當前業界多(duō)采(cǎi)用樹脂膨鬆(sōng)劑(jì)和高錳酸鉀藥水除孔內膠渣工藝。由於高錳酸鉀對聚酰亞胺樹脂性能(néng)有極大的破壞性。采用低溫等離(lí)子體處理能有效去除孔壁殘渣(zhā),達到清(qīng)潔(jié)、活化及均勻(yún)蝕刻的效果,有利於內層線(xiàn)路和孔壁鍍(dù)銅層的連接,增強(qiáng)結合力。
鍍膜
物理氣相沉積(PVD)鍍膜(mó);
化學氣相沉積(CVD)鍍膜;
磁控濺射鍍膜;
光學鏡(jìng)片的鍍膜技術是(shì)整個光學係統的一個(gè)重要組成(chéng)部分,良好的鍍膜技術能改善鏡片的折射率、阿(ā)貝(bèi)數、散射(shè)、衍射和化學性能。光學薄膜真空鍍膜技術一般采用物理氣相沉積(PVD)技術,包括(kuò)蒸發(fā)、濺射、離子鍍等方法。而在(zài)鍍膜前的光學鏡片一般須經過離心力清洗機和超聲波清洗機清洗,但若想要得到超潔淨的基體表麵,則(zé)需(xū)進一步的采用等(děng)離子體清洗,不(bú)僅能去除經離(lí)心力清(qīng)洗和超(chāo)聲波清洗後的(de)有機殘留物,還能(néng)對於後道鍍膜技術起到積極作用。
售後服務:
響(xiǎng)應迅速,在深圳、江蘇、上海、河北、河南、成都等地均(jun1)有售後服務團隊。
供方嚴格按現行(háng)國家標準及技術規格要求(qiú)確(què)保產品(pǐn)性能、質量。整機保修壹年。保修期內設備(bèi)如出現(xiàn)故障(非人(rén)為損壞),乙(yǐ)方安排售後人員跟進處理,直至故障排除,(非工作時間及(jí)工(gōng)作(zuò)日除外(wài))質保(bǎo)期後,供應(yīng)商(shāng)免費提供技術谘(zī)詢及檢修費,隻收取相關成(chéng)本費。