基（jī）本參數
| 機架 | 東信噴塑 |
| 腔（qiāng）體 | 進口316不鏽鋼（gāng） |
| 真空泵 | 雙泵組合 |
| 角閥 | 北儀 |
| 流量控（kòng）製器 | sevenstart |
| 真空顯示儀 | sevenstar |
| 電源匹（pǐ）配器 | 美國COMDEL |
| 射頻（pín）電源 | （13.56MHz） |
| PLC | 三菱 |
| 電氣係統 | 施耐德 |
| 變（biàn）頻器 | 三菱 |
| 觸摸屏 | 台灣威綸 |
| 冷（lěng）卻電極（jí） | 水冷 |
| 真空顯（xiǎn）示規管 | 寶（bǎo）睿 |
設備特點
腔體（tǐ）結（jié）構說明：單軸電極設計，儲（chǔ）物腔利（lì）用電磁驅動原理，采用旋轉模式（shì），這樣（yàng）產品可在腔內無序全方位接受等離子處（chù）理，非常適合小產品大批量的反應。
結（jié）構對稱，功率損耗（hào）小，有效工作能量高；
空間利用率高，提高生產（chǎn）能力，增加產能（néng）；
設備運行過程不需要（yào）人員守候，運行完（wán）報（bào）警提示；
整機程序自動（dòng）化，一個操作（zuò）員即可；
氣體流量在觸摸屏設定、精確監控顯示，節約氣源；
設（shè）備優勢
等（děng）離子清洗作為重要（yào）的材料表麵改性方法（fǎ），已（yǐ）經在眾多（duō）領域廣泛使用。相比傳統的一些清洗方法，如超（chāo）聲（shēng）波清洗、UV清洗等，具有很多（duō）優點
處理溫度低。處理溫度可以低至30℃以下，低的處理溫（wēn）度可以確保對樣品表麵（miàn）無造成熱影響。
處理全（quán）程無（wú）汙染，等離子清洗機本身是很環保的設備（bèi），無產生任何汙染，處理過程也無（wú）產生任何汙染。可以與原（yuán）有生產流水線搭配，實現全自（zì）動在線（xiàn）生產，節約人力成本。
處理效果穩（wěn）定。等離（lí）子清洗的處理效（xiào）果非常（cháng）均勻穩（wěn）定，常規樣品處理後較長時間內保持效果良好。
可以處理各種形狀的樣品（pǐn） 對於複雜形狀的樣品，等離子清洗（xǐ）都能找到合適的解決方案。 真空等離子清洗（xǐ）更可實現對固體樣品內部位置進行清（qīng）洗。
